原?レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル裝置（ミニマルレーザ水素アニール裝置）

＜シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野?用途におけるMEMSデバイスの高性能?高信頼性を実現！＞
東北大學 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術を用いた水素雰囲気アニールによる立體構造の平滑化と丸め制御新技術を、H30～R2年度サポイン事業により東北大?産総研?ミニマルファブ推進機構との共同開発で製品化しました。