Transparent Quartz Products（石英加工品）
気泡がほとんどない透明石英管ガラスを使用して、各用途に合わせた石英加工品の製作を行っています。
特長(zhǎng)
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用途
參考特性
石英加工品の性能
光透過(guò)率(10mm透過(guò)距離)
| 長(zhǎng)方形 | 円形 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 幅 | 厚さ | 長(zhǎng)さ | 外徑 | 內(nèi)徑 | 長(zhǎng)さ |
| 500mm | 170mm | - | 350mm | - | 2200mm |
| 成分 | 微量分子 | 成分 | 微量分子 |
|---|---|---|---|
| Al | 17 | Ca | 0.8 |
| Cr | < 0.01 | Cu | 0.01 |
| Fe | 0.2 | K | 0.5 |
| Li | 0.7 | Mg | 0.05 |
| Mn | 0.02 | Na | 0.7 |
| Nd | < 0.01 | Ti | 1.1 |
| Y | < 0.01 | Zr | 0.01 |
| OH- | 170 | ||
| 物理特性 | 熱特性 | ||
|---|---|---|---|
| 比重 | 2.2g/cm3 | 歪點(diǎn) | 1090℃ |
| 曲げ強(qiáng)度 | 69kgPa | アニール溫度 | 1190℃ |
| せん斷強(qiáng)度 | 69kgPa | 変異點(diǎn) | 1730℃ |
| 圧縮強(qiáng)度 | > 1100kgPa | ||
| ヤング率 | 73GPa | ||
| 剛性率 | 31GPa | ||
石英加工品例
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| 半導(dǎo)體酸化?拡散プロセス用ウェーハボード | ウェーハカセット | ウェーハチャック | ||
|---|---|---|---|---|
 橫型ボード |
 12inch縦型ボード |
 8inch縦型ボード |
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| 石英カバー | クランプリング | クォーツバス | ヒーターサポート | 石英品加工例 |
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