POCO SUPER SiC
SUPER SiCは、POCO社が開発したSiCで、焼結SiCと異なり、焼結剤などのバインダーは一切使用していません。
高純度のカーボンを化學反応にてSiCに転化していますので、パーティクルやコンタミネーションが非常に少なく半導體製造時のキャリア等に多く使用されています。
特長
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材料特性例
| 密度 | 熱膨張係數 | 熱伝導率 |
|---|---|---|
| 2.56g/cm3 | 4.9×10-6/℃ | 44.1w/m?K |
パーティクル/コンタミネーションの比較
| SUPER SiC | QZ（石英） | ||
|---|---|---|---|
| パーティクル ※1 | 0.5～5.0μm | 10～40 | 100 |
| 0.35～0.5μm | 60～90 | 100 | |
| コンタミネーション ※2 | アルカリ金屬 | 2～4×109 | 1～2×1010 |
| 重金屬 | 2×1010 | 1×1011 | |
半導體製造使用例
| ウエハーサイズ | 橫型キャリアー | 縦型キャリアー | ダミーウエハー |
|---|---|---|---|
| 100mm（4"） | ○ | － | ○ |
| 125mm（5"） | ○ | － | ○ |
| 150mm（6"） | ○ | ○ | ○ |
| 200mm（8"） | ○ | ○ | ○ |
| 300mm（12"） | － | － | ○ |
