弊社のスタンダード商品はほんのひとにぎり。ほとんどカスタムオーダーで製作されています。一度お問い合わせください。きっとお役に立てます。
半導體、PDP、LCD用などニーズに合わせて製作いたします。
サイズ、材質、溫度分布などご要望にお応えします。
【仕様例】
高溫:850度
均熱:300mm対応型 600度±3度
材質:高純度アルミニウム、ステンレス、石英ガラス、インコネルハステロイなど
【納入例】
丸型ホットプレート、材質SUS
有効徑200mmにて均熱精度200度±5%
(試験結果)230度±1.1%、400度±1.1%
プロセスラインヒーティングユニットは半導體プロセス用として開発された商品。ヒーターと斷熱材を一體化、ヒーターの脫著も容易でメンテナンスの簡素化をはかっています。
【ひとこと】
ちょっと頭をひねったのはヒーターのユニット化と脫著方法でした。
高溫使用のため、発熱線として作業性を考慮したタンタル線を使用。內側にはモリブデン研磨板が使われています。
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